靜電(diàn)卡盤表面反應區的溫度對穩定工(gōng)藝至關重要，電(diàn)子式溫度傳感器的測溫穩定性和精度容易受電(diàn)磁幹擾。刻蝕機反應區存在較強射頻(pín)場，射頻(pín)場的磁場幹擾會影響電(diàn)子式溫度傳感器的穩定性，進而對靜電(diàn)卡盤的溫度控制帶來不穩定性。熒光溫度傳感器是使用稀土熒光物(wù)質的光學物(wù)性來測量溫度的光學測溫方式，性能不受電(diàn)磁幹擾，結構無導體(tǐ)，還可使用非接觸測量，測量手段本身不傳導熱量，不影響熱控。