靜電(diàn)卡盤表面反應區的溫度對穩定工(gōng)藝至關重要，電(diàn)子式溫度傳感器的測溫穩定性和精度容易受電(diàn)磁幹擾。刻蝕機反應區存在較強射頻(pín)場，射頻(pín)場的磁場幹擾會影響電(diàn)子式溫度傳感器的穩定性，進而對靜電(diàn)卡盤的溫度控制帶來不穩定性。熒光溫度傳感器是使用稀土熒光物(wù)質的光學物(wù)性來測量溫度的光學測溫方式，性能不受電(diàn)磁幹擾，結構無導體(tǐ)，還可使用非接觸測量，測量手段本身不傳導熱量，不影響熱控。
熒光光纖測溫技術，是基于光緻發光現象，使用特殊的熒光材料，通過檢測熒光壽命與溫度變化的對應關系，來測得所需要的溫度值。利用熒光物(wù)質被激發後發光特性與溫度線性相關的特性，使用寬譜光做爲激發媒介，光纖做爲傳導介質，将熒光物(wù)質與光纖封裝爲一(yī)體(tǐ)而制成。傳感器感溫物(wù)質使用金屬封裝，重複性好，精度高，響應快，壽命長，可應用于對壽命及抗幹擾有嚴格要求的領域。
實時監測刻蝕機靜電(diàn)卡盤熱點溫度
有效評估刻蝕機運行狀态，增強系統可靠性與穩定。
長期在線監測刻蝕機溫度變化趨勢
Tmeas Log溫度記錄系統是針對需要持續采集溫度測溫場景開(kāi)發的 PC 端溫度數據采集系統，能夠根據測溫場溫度變化構建溫度變化分(fēn)析趨勢曲線，實施事前管理和風險預測。
實時監測設備運行狀态和進行故障分(fēn)析
獨有自診斷功能，通過内部光電(diàn)信号檢測和算法，可有效識别光纖傳感器故障類型，防止誤報、錯報等現象的發生(shēng)。
提供動态、實時、可靠的溫度信息
利用附在光纖終端對溫度敏感的磷光材料來進行溫度測量，測溫性不受電(diàn)磁幹擾。
測溫範圍 | -20℃~70℃ |
測溫精度 | ±0.3℃ |
測溫分(fēn)辨率 | 0.05℃ |
測溫通道數 | 1 |
響應時間 | ≤150ms |
溫度單位 | ℃ |
供電(diàn) | DC 24V（輸入電(diàn)壓範圍DC 12-24V） |
運行溫度 | -20-55℃ |
存貯溫度 | -40-80℃ |
存儲相對濕度 | 20%-80%（無凝結） |
| 設備功耗 | 500mW |
| 結構尺寸 | 104*81.2*53（長*寬*高 單位mm） |
| 通訊協議 | 标準Modbus RTU協議 |
| 通訊接口 | RS 485 |
| 設備接口 | DB15插針接口 |
| 設備重量 | ≤250g |
| 電(diàn)源輸入 | DC 24V（輸入電(diàn)壓範圍DC 12-24V） |
| 光纖連接器類型 | FC |
| 最小(xiǎo)彎曲半徑 | 50mm |
| 長度要求 | 1.5m |
| 光纜耐受溫度 | -40℃～80℃ |
熒光溫度傳感器屬于全光測量裝置
隻有光信号沒有電(diàn)信号，屬于是真正的無源探頭。
對電(diàn)磁幹擾本質免疫
利用附在光纖終端對溫度敏感的磷光材料來進行溫度測量，測溫性不受電(diàn)磁幹擾。
測溫周期短，實時性高
測溫周期小(xiǎo)于1秒，可充分(fēn)保證溫度數據的可靠性。
具備自診斷功能，安全可靠
通過内部光電(diàn)信号檢測和算法，可有效識别光纖傳感器故障類型，防止誤報、錯報等現象的發生(shēng)。
解調儀和光纖溫度探頭交換使用，無需标定
不存在熱電(diàn)偶的溫度漂移，不需要紅外(wài)溫度傳感器表面發射率修正等。
● 蝕刻機熱點光纖溫度在線監測
● 沉積設備熱點光纖溫度在線監測
| 設備名稱 | 型号 | 數量 | 備注 |
| 熒光光纖溫度傳感器 | SSA7 | 1 | 标準長度：1.5m（特殊長度可定制） |
| 高精度熒光光纖溫度解調儀 | FAS1 | 1 | 标準通道數：1 |
| 系統軟件 | Tmeas LOG | 1 | 選配 |
