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産品中(zhōng)心
産品名稱：高精度熒光光纖溫度解調儀FAS1
産品特點：體(tǐ)積小(xiǎo)巧，全鋁合金外(wài)殼，全屏蔽設計，面闆固定孔位設計，易于設備内部集成安裝；數字溫度信号輸出，采用标準Modbus RTU協議，易于集成開(kāi)發。
品牌正品
量身定制
多年行業沉澱高精度熒光光纖溫度解調儀專爲刻蝕機晶圓溫度監測定制，集光源激勵和熒光溫度解調分(fēn)析于一(yī)體(tǐ)，帶有光路自診斷功能，體(tǐ)積小(xiǎo)，響應快，準确性高，帶數字信号輸出，支持标準Modbus RTU 協議等多種協議，支持Ekova多種型号熒光傳感器。
熒光光纖測溫屬于接觸式測溫方式。該裝置依據測量熒光餘晖壽命的長短來實現溫度測量。塗抹在遠處測溫端的熒光物(wù)質受到特定波長的光激勵後,會輻射出相應的熒光能量。撤銷掉特定波長的光激勵後,熒光餘晖開(kāi)始衰減。熒光餘晖持續的長短就取決于位于測溫探頭上的熒光物(wù)質,即待測物(wù)質的溫度。特定波長光激勵的選擇和所選的熒光物(wù)質是相匹配的,不同的熒光物(wù)質的最有效的激發光波長是不同的。選擇的時候要重點考慮選擇光波長最具有适合激發熒光物(wù)質的光激勵。通常光激發的熒光物(wù)質衰減曲線爲單指數形式。
FAS1高精度熒光光纖溫度解調儀專爲刻蝕機晶圓溫度監測定制，集光源激勵和熒光溫度解調分(fēn)析于一(yī)體(tǐ)，帶有光路自診斷功能，體(tǐ)積小(xiǎo)，響應快，準确性高，帶數字信号輸出，支持标準Modbus RTU 協議等多種協議，支持Ekova多種型号熒光傳感器。
規格參數
| 測溫通道數 | 1 |
| 測溫範圍 | -20℃~70℃ |
| 測溫精度 | ±0.3℃ |
| 分(fēn)辨率 | 0.05℃ |
| 響應時間 | ≤150ms |
| 工(gōng)作電(diàn)壓 | DC 24V（輸入電(diàn)壓範圍DC 12-24V） |
| 功耗 | 500mW |
| 光學接口 | FC |
| 适配的光纖溫度傳感器型号 | SSA71-F93N-0 |
| 設備尺寸 | 104*81.2*53（長*寬*高 單位mm） |
| 設備重量 | ≤250g |
| 通訊接口 | RS 485 |
| 通訊協議 | 标準Modbus RTU協議 |
| 設備接口 | DB15插針接口 |
| 運行溫度 | -20-55℃ |
| 存貯溫度 | -40-80℃ |
| 存儲相對濕度 | 20%-80%（無凝結） |
外(wài)形結構
選型說明
● 蝕刻機熱點光纖溫度在線監測
● 沉積設備熱點光纖溫度在線監測
