解決方案
半導體(tǐ)領域—靜電(diàn)卡盤熒光光纖溫度在線監測系統
半導體(tǐ)領域—靜電(diàn)卡盤熒光光纖溫度在線監測系統
靜電(diàn)卡盤表面反應區的溫度對穩定工(gōng)藝至關重要,電(diàn)子式溫度傳感器的測溫穩定性和精度容易受電(diàn)磁幹擾。刻蝕機反應區存在較強射頻(pín)場,射頻(pín)場的磁場幹擾會影響電(diàn)子式溫度傳感器的穩定性,進而對靜電(diàn)卡盤的溫度控制帶來不穩定性。熒光溫度傳感器是使用稀土熒光物(wù)質的光學物(wù)性來測量溫度的光學測溫方式,性能不受電(diàn)磁幹擾,結構無導體(tǐ),還可使用非接觸測量,測量手段本身不傳導熱量,不影響熱控。
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油浸變壓器内部繞組熱點光纖溫度在線監測系統(TOTF)
油浸變壓器内部繞組熱點光纖溫度在線監測系統(TOTF)
TOTF油浸式變壓器繞組熱點光纖在線監測系統是基于熒光測溫原理研發的一(yī)套測溫系統,可應用于油浸式變壓器繞組熱點、GIS設備内部熱點、氣體(tǐ)絕緣式高壓開(kāi)關内部熱點溫度監測等。系統具有自診斷、測溫速度快、精準度高的特點;且熒光光纖傳感器工(gōng)藝成熟,一(yī)緻性較好;能夠在線監測各熱點溫度信息,并實時顯示在本地顯示系統及後台數據終端。
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電(diàn)氣熱點熒光光纖溫度在線監測系統(TOSC)
電(diàn)氣熱點熒光光纖溫度在線監測系統(TOSC)
開(kāi)關櫃、箱式變電(diàn)站、母線電(diàn)纜橋架等是最重要的電(diàn)氣設備組成部分(fēn),其動靜觸頭、母線接頭、電(diàn)纜接頭等長期處于高電(diàn)壓、大(dà)電(diàn)流的工(gōng)作狀态下(xià),易出現表面氧化腐蝕、緊固螺栓松動、觸點和連接處老化等問題,這些問題會導緻接觸電(diàn)阻增大(dà),引起溫度升高,造成電(diàn)氣安全事故。TOSC電(diàn)氣熱點熒光光纖溫度在線監測裝置利用先進的熒光光纖溫度傳感器技術,可以動态、實時、安全、精準地提供設備運行“熱點”溫度信息,防止設備過熱而出現突發性的安全事故,實現設備由“定期維修”向“狀态檢修”的智能模式轉變。
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環網櫃堵頭溫度在線監測系統
環網櫃堵頭溫度在線監測系統
環網櫃是由多個開(kāi)關櫃組成的環裝供電(diàn)組合體(tǐ),是供電(diàn)保障性設備,多數用在對供電(diàn)持續性和不間斷性有要求的領域,目的是保證在任何情況下(xià)供電(diàn)的穩定不間斷。因此環網櫃自身的穩定性和安全性就顯得尤爲重要。針對環網櫃的特殊構造,Tmeas利用熒光測溫原理專門設計了一(yī)種堵頭式光纖溫度傳感器,将堵頭接入環網櫃T型頭後,尾部的光接口接入轉接光纜,通過轉接光纜将激勵光輸入到探頭位置,并接受熒光物(wù)質返回的餘晖,光纖将餘晖信号接入溫度解析儀,解析儀将溫度解析後通過顯示表顯示,或将溫度數據傳輸到後台。
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